结构简单合理,零件种类、数量少,维护方便。比传统真空泵节能明显。
转子型线啮合均匀,密封性好,抽气效率高;转子作G1级动平衡实验,泵运行震动小。
排气路径短,减少制程物沉积;采用密封式结构,避免了因动密封磨损而出现的润滑油外漏现象。
转子作G1级动平衡实验,泵运行震动小